復合真空計由熱電偶真空計和熱陰極電離真空計組成。

　　一般來說，對低真空和高真空的測量不能用復合真空計進行，必須使用復合真空計，必須多應用電離和熱電偶式復合功率計。測量范圍為13.33 - 666.610-8Pa-8pa。熱電偶真空計測量(10-1-10-3)  133.32PA的低真空電離真空計測量133.32 10-3-666.6 10-8PA的高真空。復合真空計有一個熱電偶管，一個電離管，每個都連接到真空系統(tǒng)，通過手柄可以分別加熱和使用兩個管道。

　　(1)連接熱電偶規(guī)、電離規(guī)和設備的電纜、插頭不能連接錯誤，如果插錯，監(jiān)管可能會被燒毀。

　　(2)在低真空測量中使用熱電偶規(guī)時，開關置于“加熱”位置，旋轉電流調節(jié)器以加熱電流為給定值。然后把開關撥到“測量”位置，在表中就可以了。

　　(3)低真空測量使用電阻計時要進行“零點”和“萬度”校準。

　　(4)使用電離規(guī)時，根據(jù)電離真空計工作。

　　(5)在測量過程中，整個系統(tǒng)電源電壓必須保持不變。真空度小于0.1Pa時，電離計不可用。

　　復合真空計的測量范圍是怎樣?

　　在壓力測量中，除了極少數(shù)直接測量外，絕大多數(shù)都是間接測量。首先在測量的氣體中產(chǎn)生一定的物理現(xiàn)象，然后在這個過程中測量與壓力相關的物理量，以確定壓力值。這是真空測量的特點，也可能引起某些問題。

　　任何具體的物理現(xiàn)象和壓力之間的關系在特定的壓力范圍內較明顯，超出這個范圍，關系就會變弱。因此，任何方法都有一定的測量范圍，這個范圍是真空計的“距離”。擴大各種可能方法的范圍是真空科學研究的重要內容之一。與近代真空技術相關的壓力范圍達到19級(105 ~ 105 ~ 10 ~ 14pa)，任何真空計都無法測量這么大的壓力范圍，因此總是用幾種真空計管轄特定地區(qū)。但是由于各種真空計原理上的差異。相互嚙合的領域經(jīng)常會出現(xiàn)很大的誤差。

　　在測量的空間中產(chǎn)生一定的物理現(xiàn)象，從測量的角度來看，需要簡單的物理現(xiàn)象，但有時不可避免地帶來一系列寄生現(xiàn)象，這些寄生現(xiàn)象不僅會給測量量帶來誤差，有時還會出現(xiàn)“喧賓奪主”的問題，完全掩蓋了主要現(xiàn)象。