美國BROOKS流量計-質(zhì)量流量和壓力控制器
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利用我們的熱 MFC 核心技術(shù),通過閉 環(huán)控制消除下垂、升壓和滯后。 |
超快的響應(yīng)速度和高純度的全金屬 流動通道能夠最大程度減少污染, 提高產(chǎn)量。 |
我們最先進(jìn)的 GP200 MFC 是首款 全壓力不敏感的 P-MFC,采用獨特 的設(shè)計方法,能夠在各種各樣的運行 條件下實現(xiàn)最終精密工藝氣體輸送。 |
能夠在極低流量應(yīng)用中實現(xiàn)最精確 的測量和控制。 |
主要特點
• 用于 SLA 系列質(zhì)量流量設(shè)備,最大程 度提高工藝一致性成效 • 廣泛的壓力測量和控制范圍 • 下游或上游控制模式 • 耐用、穩(wěn)定的金屬頂蓋可防止設(shè)備在 安裝期間受損 • 可單獨輕松訪問的診斷/維護(hù)端口 • SLAMf 系列采用 NEMA4X/IP66 防 護(hù)等級硬化外殼,能夠勝任軟管沖洗/ 虹吸應(yīng)用。 |
• 適用于對水分或氧氣敏感的工藝 • 超穩(wěn)定、高精度的測量傳感器 • 快速精密控制閥 • 高完整性(密封) 、超高純度、全金屬 潤濕流動通道 • 耐腐蝕的 Hastelloy® 傳感器 • MultiFlo™ 可編程多氣體和多量程 功能 • 實時流量錯誤檢測和壓力瞬態(tài)不敏 感技術(shù) |
• 一個真正的壓差傳感器提供卓越的流 量測量精度和可重復(fù)性,同時降低測 量不確定性 • 專為低壓降而設(shè)計的層流元件使 GP200 成為所有壓力、氣體和工藝 理想的通用 P-MFC 解決方案。 • 嵌入式 MultiFlo™ 氣體型號支持實時 重新配置氣體和流量范圍,以獲得最 大的工藝靈活性 • 零泄漏控制閥可將閥門關(guān)閉性能提 高 100 倍(可選) • 通信協(xié)議:DeviceNet™、EtherCAT® 和 RS485 |
• 真實的質(zhì)量流量測定結(jié)果,不是來自 于推斷 • 固有的流體密度計 • 質(zhì)量流量或體積流量和密度或溫度 的可選多變量輸出 • 對流體類型不敏感 • 多種多樣的外殼供選項 — 高達(dá) NEMA 4X/IP66 防護(hù)等級 • 高壓性能可滿足嚴(yán)苛的研究應(yīng)用需求 • Zone 2 和 Class 1 Division 2 的可選 危險區(qū)域認(rèn)證 • 內(nèi)置用戶可設(shè)置的警報和診斷功能 |
性能
• 壓力控制范圍 — o 標(biāo)準(zhǔn):20 比 1,高達(dá) 1500 psi (100 bar) o 可選:高達(dá) 4500 psi (310 bar) • 流量范圍 — 3 sccm – 50 lpm • 精度 — o 傳感器滿量程的 ±0.25%(滿量程 >300 psia) o 傳感器滿量程的 ±0.12%(滿量程 <300 psia) • 最大壓力 — 4500 psia (310 bar) |
• 流體類型 — 氣體 • 流量范圍 — 3 sccm – 300 slm • 精度 — SP 的 ±1% • 最大壓力 — 高達(dá) 500 psia (34.4 bar) • 溫度范圍 — 5–65°C (40 -149°F) |
• 流體類型 — 氣體 • 流量范圍 — 3 sccm – 50,000 sccm • 精度 — SP(滿量程的 5-100%)的 ±1% • 最大壓力 — 高達(dá) 60 psia (4 bar) • 溫度范圍 — 10-60°C (50-140°F) |
• 流體類型 — 氣體和液體 • 流量范圍 — 1–27,000+ gm/hr • 精度 — 流速的 0.2–0.5% • 最大壓力 — o 標(biāo)準(zhǔn) 500 psi (34 bar) o 可選 1500 (103 bar) 或 4500 psi (310 bar) • 溫度范圍 — 0-60°C (33-140°F) |
質(zhì)量流量和壓力控制器
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經(jīng)驗證的的 MFC,適用于各種各樣的 質(zhì)量流量需求和應(yīng)用,可提供卓越的 結(jié)果和更低的總擁有成本。 |
設(shè)備設(shè)計緊湊,只需一臺即可測控多 種氣體和流量,最大限度地提高工藝 靈活性和生產(chǎn)力,同時保持精確度。 |
極其可靠、準(zhǔn)確和可重復(fù)的測量及控 制性能可滿足嚴(yán)苛的工業(yè)流程需求。 |
經(jīng)實踐考驗的 SLA5800 具有高精 度和長期穩(wěn)定性,配有專門設(shè)計的 NEMA 4X/IP66 防護(hù)等級硬化外殼, 適用于最惡劣的環(huán)境。 |
• 卓越的長期漂移穩(wěn)定性和業(yè)內(nèi)首屈 一指的 MTBF • 行業(yè)領(lǐng)先的設(shè)備線性度、可重復(fù)性和 可再現(xiàn)性 • 廣泛的流量和壓力量程 • 可編程多氣體和多量程功能 • 獨立且易于訪問的維護(hù)端口簡化了 安裝、診斷和故障排除 • 與 SLA 系列壓力控制器配套使用,可 消除下垂、升壓和滯后 • 專為生物技術(shù)應(yīng)用設(shè)計的全新選項 套裝 |
• MultiFlo™ 技術(shù)使一臺 MFC 能夠支 持?jǐn)?shù)千種氣體類型和量程組合,無需 將其從氣體管路中拆除或影響精確度 • 卓越的工藝氣體精度 • 適用于一系列的氣體 |
• 廣泛的流量和壓力量程 • 流量可隨指令變化做出快速響應(yīng),過 沖/下沖可忽略不計 • 僅模擬輸入/輸出,使安裝和維護(hù)更 輕松快捷 |
• NEMA 4X/IP66 防護(hù)等級硬化外殼, 適用于軟管沖洗/虹吸應(yīng)用 • 危險區(qū)域認(rèn)證和批準(zhǔn):ATEX、CE、 IECEx、KOSHA、UL(認(rèn)證) Class 1 Division 2 和 Zone 2 • 廣泛的流量、溫度和壓力范圍 • 可編程多氣體和多量程功能 • 與 SLA 系列壓力控制器配套使用,可 消除下垂、升壓和滯后 • 專為生物技術(shù)應(yīng)用設(shè)計的全新選項 套裝 • 支持包括 EtherNet/IP™ 和 PROFINET® 在內(nèi)的各種通信協(xié)議 |
• 流體類型 — 氣體 • 流量范圍 — 3 sccm – 2500 lpm • 精度 — 17025 臺認(rèn)證設(shè)備可達(dá)到 SP(滿量程的 20-100%)的 ±0.6% • 最大壓力 — o 標(biāo)準(zhǔn) 1500 psi (100 bar) o 可選 4500 psi (310 bar) • 溫度范圍 — -14-65°C (7-149°F) |
• 流體類型 — 氣體 • 流量范圍 — 3 sccm – 50 slpm • 精度 — SP(滿量程的 35-100%) 的 ±1% • 最大壓力 — 150 psig (10 bar) • 溫度范圍 — 5-50°C (41-122°F) |
• 流體類型 — 氣體 • 流量范圍 — 3 sccm – 1000 lpm • 精度 — 滿量程的 ±1% • 最大壓力 — 1500 psig (100 bar) • 溫度范圍 — 5-65°C (41-149°F) |
• 流體類型 — 氣體 • 流量范圍 — 3 sccm – 2500 lpm • 精度 — 17025 臺認(rèn)證設(shè)備可達(dá)到 SP(滿量程的 20-100%)的 ±0.6% • 最大壓力 — o 標(biāo)準(zhǔn) 1500 psi (100 bar) o 可選 4500 psi (310 bar) • 溫度范圍 — -14-65°C (7-149°F) |
美國BROOKS流量計-可變面積流量計
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MT3809 系列 金 屬管 VA 流量計 |
簡單、堅固的設(shè)計可確保低流量和高 |
簡單、堅固的設(shè)計可確保低流量和高 |
具備在惡劣的環(huán)境下實現(xiàn)可靠、耐用、 |
具有最廣泛的溫度、壓力和流量量程, |
流量氣體和液體應(yīng)用的持久性能,而 |
流量氣體和液體應(yīng)用的持久性能,而 |
低流量測量的性能。 |
適用于在危險、偏遠(yuǎn)地區(qū)測定流體。 |
這些應(yīng)用中觀察工藝至關(guān)重要。 |
這些應(yīng)用中觀察工藝至關(guān)重要。 |
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• 體類型 — 清潔液體和氣體 • 流量范圍 — o 空氣:高達(dá) 15 scfm / 425 slpm o 水:高達(dá) 5 gpm / 19 lpm • 精度 — 滿量程的 ±3、±5、±10% • 最大壓力 — 200 psig (13.8 bar) • 溫度范圍 — 1-121°C (33-250°F) |
• 體類型 — 清潔液體和氣體 • 流量范圍 — o 空氣:高達(dá) 150 scfm/270 m3n/hr o 水:高達(dá) 21 gpm/4,800 l/h • 精度 — 滿量程的 ±2、±5、±10%,級 別 2.5 acc VDI/VDE(可選滿量程的 ±1% FS,Class 1.6 acc VDI/VDE) • 最大壓力 — 500 psig (34.5 bar) • 溫度范圍 — 1-121°C (33-250°F) |
• 流體類型 — 清潔液體、氣體和蒸汽 • 流量范圍 — o 空氣:高達(dá) 110 scfh/3.1 m3n/hr o 水:高達(dá) 26 gpm/100 l/h • 精度 — 滿量程的 ±3、±5% o Class 2.5、4.0 VDI • 最大壓力 — o 標(biāo)準(zhǔn) 1500 psig (100 bar) o 可選 4000 psig (276 bar) • 溫度范圍 — -50-204°C (-58-400°F) |
• 流體類型 — 清潔液體、氣體和蒸汽 • 流量范圍 — o 空氣:高達(dá) 750 scfm/1200 m3n/hr o 水:高達(dá) 440 gpm / 100,000 l/h • 精度 — 滿量程的 ±1%、±2%、±3% 、±5% o Class 1.6、2.5、4.0 VDI • 最大壓力 — o 標(biāo)準(zhǔn) 6000 psig (413.7 bar) o 可選 20,000 psig (1379 bar) • 溫度范圍 — -198-420°C (-325-788°F) |
美國BROOKS流量計-壓力產(chǎn)品
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VersaTorr 系列真空計 |
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先進(jìn)的真空測量技術(shù)幾乎消除了漂移 |
適用于許多真空應(yīng)用的多合一超寬 |
卓越的多功能性和可靠性與耐用的設(shè) |
在超高純度和特種氣體應(yīng)用中通過 |
并提供了更長的使用壽命。 |
范圍氣體測量解決方案。 |
計和材料相輔相成,可滿足各種工業(yè) 流程的應(yīng)用需求。 |
可靠的壓力監(jiān)測實現(xiàn)智能、精密的 數(shù)字測量。 |
主要特點
• 屏蔽傳感器可防止顆粒積聚 • 雙區(qū)溫度控制提高了測量穩(wěn)定性和 可重復(fù)性 • 數(shù)十年的數(shù)字校準(zhǔn)提供了卓越的已 知精度窗口 • 獨立診斷服務(wù)端口 • 加熱或不加熱 可用型號 |
• 9 個十進(jìn)制的超寬測量范圍 • 可編程設(shè)置和參數(shù) • 熱損失 MEMS Pirani 可在中低真空 范圍內(nèi)進(jìn)行最準(zhǔn)確的測量• Tri-Sensor Transducer 型號使用精密 電容膜片規(guī)傳感器來消除 氣體依賴 |
• 2 英寸不銹鋼固態(tài)開關(guān)和變送器 • 可調(diào)節(jié)壓力開關(guān)設(shè)定點,用于操作燈 或繼電器 • 多個工藝連接和插座方向 • 316L 鋼可承受惡劣環(huán)境 • 在無氧室中焊接,符合苛刻的高純度 應(yīng)用的嚴(yán)格清潔和安全標(biāo)準(zhǔn) |
• 材料無焊接,耐腐蝕 • 在具有出色的零位穩(wěn)定性,精度為滿 量程的 0.25% • 型號適用于集成顯示器或全功能可 編程顯示器 • 數(shù)字熱補償采用多點溫度補償法 • 專有的微加工硅應(yīng)變計可達(dá)到極低 的零點漂移 |
性能
• 壓力范圍 — 0.1 至 1000 Torr • 準(zhǔn)確度 — 讀數(shù)的 ±0.15% 至 0.25% • 溫度范圍 — 環(huán)境溫度至 160°C • 測量范圍 — 4 十年 |
• 壓力范圍 — 7.5x10¯7 至 1000 Torr • 準(zhǔn)確度 — 讀數(shù)的 ±5% 至 ±0.5% • 溫度范圍 — 環(huán)境溫度至 50°C • 測量范圍 — 9 十年 |
• 壓力范圍 — 高達(dá) 4000 psi (276 bar) • 精度 — 滿量程的 1% • 具有邏輯輸出的開關(guān): o 斷開–接通和類型 1 (0 到 9-30 Vdc) o 類型 2(8 至 30 Vdc)和 o 類型 3(0 至 5 Vdc) • 具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)輸出的變送器 — 4–20 mA;0-5 Vdc;1–5 Vdc |
• 壓力范圍 — -15–3000 psi (205 bar) • 精度 — 滿量程的 1% • 輸出類型 — 模擬電壓或電流 • 認(rèn)證 — CE、FM 和 ATEX |