美國(guó)BROOKS流量計(jì)金屬密封熱 MFC手冊(cè)，金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器和儀表
最高純度氣路。超高精確，無(wú)污染的控制。
現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無(wú)泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。
金屬密封熱 MFC關(guān)鍵應(yīng)用
硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP
化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應(yīng)用
選擇最適合自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。
金屬密封熱 MFC產(chǎn)品
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型號(hào) |
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GP100系列 |
美國(guó)BROOKS流量計(jì)GP80系列 |
美國(guó)BROOKS流量計(jì)5850EM系列 |
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產(chǎn)品類型 |
Mass Flow Controller |
Mass Flow Controller |
Mass Flow Controller |
Mass Flow Controller |
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區(qū)別 |
EtherCAT Communication
High Purity/Ultra-High Purity
Embedded Diagnostics
Ultra-stable Flow Sensor
Improved Valve Shutdown
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High Purity/Ultra-High Purity
Standard GF Series
High Flow GF Series
Ultra-Fast Response Time
Pressure Transient Insensitivity
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High Purity |
Large installed base with proven long term performance |
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流量范圍-滿量程容量-液體 |
— |
— |
— |
— |
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密封材料 |
Metal |
Metal |
Metal |
Metal |
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純凈等級(jí) |
5 - 10µ inch Ra |
4 - 10µ inch Ra |
16µ inch Ra |
316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel |
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精度 |
Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%
High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%
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±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35%
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±1% S.P. 35-100%
±0.35% F.S. < 5-35%
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1% F.S. incl. linearity
1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm
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重復(fù)性 |
< ±0.15% S.P. |
< ±0.15% S.P. |
< ±0.2% S.P. |
0.2% of rate |
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響應(yīng)時(shí)間-常閉 |
Normally Closed Valve: 300 ms - < 1 sec
SDS Gas Delivery: < 3 sec
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Normally Closed Valve:
300 ms - < 700 ms
700 ms - < 1 sec
SDS Gas Delivery: < 3 sec
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Normally Closed Valve: <1 sec |
Normally Closed Valve: <3 sec
Optional: 600 msec
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瞬時(shí)壓力波動(dòng)不敏感 |
Specific models |
<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike |
— |
— |
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多氣體多量程 |
MultiFlo™ Standard (most models) |
MultiFlo™ Standard (most models) |
MultiFlo™ Available |
— |
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診斷能力 |
Available |
Available |
Available |
— |
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模擬通訊 |
— |
0-5 Vdc |
0-20 mA
4-20 mA
0-5 Vdc
0-10 Vdc
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4-20 mA
0-5 Vdc
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數(shù)字通訊 |
EtherCAT® |
DeviceNet™
RS485 L-Protocol
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DeviceNet™
Profibus®
RS485 S-Protocol
RS485 L-Protocol
RS485 A-Protocol (GF081)
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無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì)金屬密封熱 MFC手冊(cè),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計(jì)/真空規(guī)、四極質(zhì)譜儀、壓強(qiáng)控制系統(tǒng)、氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子 /臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。