美國mks流量計(jì)-GM50A流量控制器-GM51A流量控制器詳細(xì)介紹
GM50A 和 GM51A 數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可用于模擬或 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備利用最新的 MKS 控制算法，在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速且可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為 500 毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生 1% 的設(shè)定點(diǎn)精度。
1、流速從 5 到 50,000 sccm
2、用特氟龍閥塞金屬密封
3、多種數(shù)字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模擬（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 選擇
4、標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的 1.0%
5、小于 750 毫秒的建立時間
模型 滿量程流量范圍 配件類型 模擬連接器 可用性 價格
GM50A013101RMM020 10 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013101SMM020 10 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013102RMM020 100 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013103RMM020 1000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013103SMM020 1000 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013201RMM020 20 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013202RMM020 200 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013203RMM020 2000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013204RMM020 20,000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013204SMM020 20,000 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013501RMM020 50 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013502RMM020 500 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013503RMM020 5000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
規(guī)格
類型 質(zhì)量流量控制器 (MFC) 入口壓力系數(shù) <0.02% 讀數(shù)/psi
控制范圍 滿量程的 2-100% 典型穩(wěn)定時間 <750 毫秒，典型值高于滿量程的 5%
滿量程流量范圍 5 - 50000 sccm（當(dāng)量 N2） 熱身時間 30分鐘
廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇
GM50A 數(shù)控 MFC 可提供模擬或數(shù)字 I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備采用最新的 MKS 控制算法，在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)提供快速且可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為 500 毫秒。GM50A 的模擬和數(shù)字 I/O 可輕松用于替換 1179A MFC 的相同 I/O 類型。所有 GM50A 都包含 Modbus 作為可用的輔助 I/O（不包括 PROFINET® 和 EtherCAT®）。
標(biāo)準(zhǔn) 3 英寸占地面積
GM50A 在 5 sccm 至 50 slm 流量范圍內(nèi)采用 MFC 最常使用的標(biāo)準(zhǔn) 3 英寸占地面積，無需修改現(xiàn)有氣體管線配置即可使用。
金屬密封
GM50A 金屬密封 MFC 具有 10 µ 英寸電拋光 316L 表面光潔度，使該質(zhì)量流量控制器可用于高純度應(yīng)用。
設(shè)定點(diǎn)精度百分比
包含的數(shù)字校準(zhǔn)產(chǎn)生 1% 的設(shè)定點(diǎn)準(zhǔn)確度，使用 N2 校準(zhǔn)氣體，用于 20% 至 100% 的滿量程流量范圍。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)精確的過程控制與相對于滿量程的精度。對于 2 至 20% 滿量程的質(zhì)量流量，精度為 ±0.2% 滿量程。
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫存需求。您還可以監(jiān)控 MFC 功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。
專利熱傳感器
久經(jīng)考驗(yàn)的專利熱傳感器設(shè)計(jì)可提供出色的零位穩(wěn)定性。美國專利號 5461913。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：美國mks流量計(jì),美國BROOKS流量計(jì),美國MKS真空計(jì),德國普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計(jì)/真空規(guī)、四極質(zhì)譜儀、壓強(qiáng)控制系統(tǒng)、氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。美國mks流量計(jì),GM50A流量控制器,GM51A流量控制器等產(chǎn)品外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。