美國BROOKS流量計(jì)VersaTorr BVT200系列皮拉尼傳感器介紹
具有大氣開關(guān)功能的超寬范圍皮拉尼/電容/壓電傳感器。
使用 VersaTorr BVT200/225 系列皮拉尼傳感器建立新標(biāo)準(zhǔn)。這是一種多合一的寬范圍測量解決方案，適用于各種真空應(yīng)用。它通過提供從 5.0E-3 到 1333 mbar 的整體經(jīng)濟(jì)有效的氣體獨(dú)立測量與使用熱損失原理低至 1E-6 mbar 的測量相結(jié)合，與任何其他真空計(jì)不同。
在氣體成分或類型可能發(fā)生變化的真空應(yīng)用中，傳統(tǒng)的氣體相關(guān)皮拉尼壓力計(jì)將導(dǎo)致測量與實(shí)際壓力的偏差。Tri-Sensor 傳感器使用精密電容膜片計(jì) (CDG) 傳感器，消除了對氣體的依賴性，并在氣體特性發(fā)生變化時也能提供準(zhǔn)確的測量。
集成的熱損失 MEMS 皮拉尼傳感器將測量范圍擴(kuò)展到 1E-6 mbar，并提供了一種新穎的電容壓力計(jì)自動調(diào)零功能，從而消除了傳統(tǒng)電容隔膜壓力計(jì)手動調(diào)零的常見需求。
特點(diǎn)與優(yōu)勢
9個十進(jìn)制的超寬測量范圍
電容隔膜在低真空范圍內(nèi)增加了 0.5% 的精度
從 5E-3 到 1333 mbar 的 6 個幾十年的氣體獨(dú)立測量
電容壓力計(jì)自動歸零
用于診斷的真空溫度傳感器
應(yīng)用
負(fù)載鎖
轉(zhuǎn)移室
前線
真空粗加工線
薄膜加工
產(chǎn)品類別三傳感器：MEMS 皮拉尼、電容和壓電隔膜
微分器
電容和壓電隔膜傳感器為過程控制提供擴(kuò)展的高精度直接真空測量
表現(xiàn)
溫度環(huán)境溫度 - 50 o C
壓力范圍
7.5x10 -7托至 1000 托
準(zhǔn)確性
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±0.5%
7.50 至 7.49 托：±0.5%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
測量范圍9 十年
溫度效應(yīng)
環(huán)境溫度 - 50 o C
機(jī)械的
暴露材料304 不銹鋼、可伐合金、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO 2、Si 3 N 4、金、Viton ®、低釋氣環(huán)氧樹脂、焊料、RO4305
過壓限制4 巴絕對
電氣
模擬通信
0.5-9.5 Vdc（每十倍頻 1V）
數(shù)字通信
RS-232
RS-485
電氣連接
9 針 D-sub 公頭：僅限 BVT120 系列
15針高清D-sub公頭
15 針高清 D-Sub 公頭/雙模擬輸出
6 針 Hirschmann，ID res 3K：僅限 BVT120 系列
6 針 Hirschmann，ID res 5.1K：僅限 BVT120 系列
6 針 Hirschmann，ID res 9.1K/11.1K：僅限 BVT120 系列
8 針 RJ45 / FCC68，ID Res 27K：僅限 BVT120 系列
8 針 RJ45 / FCC68，ID Res 36K：僅限 BVT120 系列
8 針 RJ45 / FCC68，ID Res 43K：僅限 BVT120 系列
電源/消耗350 兆瓦（最大）
認(rèn)證/批準(zhǔn)
電磁兼容歐盟指令 2015/863 EMC 指令 2014/30/EU