河北代理日本HORIBA流量計調(diào)零
日本HORIBA流量計其它型號
SEC- (質(zhì)量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (質(zhì)量流量計)
E40
E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時?關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2? F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0? F.S.
響應(yīng)速度
1秒以內(nèi)(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復(fù)性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐?壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保:15?35℃)
流量設(shè)定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2
1/4SWL 類型
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理
常見的壓力控制器是UR-Z700系列,一款數(shù)字式自動壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途,該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中,當(dāng)供氣壓力突然發(fā)生變化時,管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化,這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定,甚至可能會對整臺設(shè)備的造成大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列,通過響應(yīng),高精度,穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對這種情況,只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力,并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應(yīng)源液的穩(wěn)定運行。?
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品。現(xiàn)在,手?jǐn)y的技術(shù),HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器: Z500系列。相對于舊有的型號,Z500X 系列實現(xiàn)了的突破, 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換??蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要,輕松地更改流量計氣體種類和量程。
日本HORIBA流量計HORIBA STEC 系列
STEC SMT-3000模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SFC-480模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEF-11模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-7440模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-7340模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-7350模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-7330模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-4600模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-4500模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-4400模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-400模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-300模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-E40MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液體微小質(zhì)量流量計/控制器
STEC SEC-400MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-N100數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器,壓力鈍感質(zhì)量流量計
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
日本HORIBA流量計型號SEC- (質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量計)E40E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時 關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2?100% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0?100% F.S.
響應(yīng)速度
1秒以內(nèi)(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復(fù)性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保:15?35℃)
流量設(shè)定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2
1/4SWL 類型
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標(biāo)準(zhǔn)。