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HORIBA質(zhì)量流量計
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日本HORIBA流量計/質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計

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所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測定時,對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在對流量進(jìn)行計測和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。


日本HORIBA流量計概要
質(zhì)量流量計是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?,F(xiàn)在,手?jǐn)y的技術(shù),HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器: Z500系列。

相對于舊有的型號,Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破, 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換??蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要,輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。

此外,藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計要求,為客戶提升產(chǎn)品價值。

高性能的Z500系列流量計,將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。

1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。

此外,藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計要求,為客戶提升產(chǎn)品價值。高性能的Z500系列流量計,將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。日本HORIBA流量計-SEF-Z542質(zhì)量流量計特征 高精度:設(shè)定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測量系統(tǒng), 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

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