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MKS流量控制器
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預(yù)熱:時間30分鐘工作溫度:10-50攝氏度儲存濕度:0至95%相對濕度,非冷凝儲存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性:高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從:英國國教會


GE50A采用標(biāo)準(zhǔn)的3英寸尺寸,常用于5sccm至50slm流速范圍內(nèi)的MFC,無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。GE50A的設(shè)計(jì)采用了少的彈性體。只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則,潤濕表面都是金屬的。GE50A標(biāo)配氟橡膠密封件,以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件,允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體設(shè)定值準(zhǔn)確度的百分比對于20%至100%的全刻度流量范圍,包括的數(shù)字校準(zhǔn)產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度,使用N2校準(zhǔn)氣體。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)的過程控制,相對于滿量程精度而言。對于2%至20%滿量程的質(zhì)量流量,精度為滿量程的0.2%。


GE50A彈性體密封的5-50,000sccm質(zhì)量流量控制器類型:質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體:N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍:2-100sccm滿量程流量范圍:100sccm配件類型:0.25英寸。世偉洛克風(fēng)格密封材料:氟橡膠流量輸入輸出信號:0-5伏直流電模擬連接器:15針D-sub(接地)大入口壓力:150磅/平方英寸正常工作壓差:10至40磅/平方英寸耐受壓力:1000磅/平方英寸破裂壓力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%滿量程時為設(shè)定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3%解決:滿量程的0.1%零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5%


典型精度:20至100%滿量程時為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時為滿量程的0.2% 可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3% 解決:滿量程的0.1% 零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃ 跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的% 3c 0.08%/C 入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸 典型建立時間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5% 預(yù)熱:時間30分鐘 工作溫度:10 - 50攝氏度儲存濕度:0至95%相對濕度,非冷凝 儲存溫度:-20至80攝氏度 外部泄漏完整性:%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性:高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS,20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS 濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳 表面拋光:16英寸平均半徑 重量:3磅(1.4千克)


HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 / 臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對品牌的MFC都可的清洗校準(zhǔn)。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
 
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空
和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計(jì),美國BROOKS流量計(jì),美國MKS真空計(jì),德國普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /
臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀
光潔如新,性能可靠,原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

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