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MKS流量控制器
山東進口美國mks流量計調零
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山東進口美國mks流量計調零


G系列GE50A013201RMV020的滿量程流量范圍為20 sccm,控制范圍為0.4至20 sccm,具有接地的15引腳D-sub mixture連接器和0-5 VDC流量輸入/輸出信號。校準N2(或等效氣體),這是一個數字控制的質量流量控制器,利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內和可重復地響應設定點。美國mks流量計產品系列概述 GE50A彈性體密封的5-50,000 sccm質量流量控制器


美國mks流量計G系列GE50A數字控制質量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數字控制電子設備利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內對設定值做出、可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。數字校準在校準氣體上產生1%的設定點精度。廣泛的數字和模擬接口選擇GE50A數字控制MFC可提供模擬或數字I/O。數字控制電子設備利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內對設定點提供和可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。


服從:英國國教會無錫飛斯卡精密科技有限公司從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的供應商。 質量流量控制事業(yè)部從事銷售服務世界的MFC,有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格,同時經銷真空 和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、


GE50A采用標準的3英寸尺寸,常用于5sccm至50slm流速范圍內的MFC,無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。GE50A的設計采用了少的彈性體。只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則,潤濕表面都是金屬的。GE50A標配氟橡膠密封件,以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件,允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體設定值準確度的百分比對于20%至100%的全刻度流量范圍,包括的數字校準產生1%的設定點精度,使用N2校準氣體。設定點精度可實現(xiàn)的過程控制,相對于滿量程精度而言。對于2%至20%滿量程的質量流量,精度為滿量程的0.2%。


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