安徽供應(yīng)日本HORIBA流量計(jì)選型
日本HORIBA流量計(jì)HORIBA STEC 系列
STEC SMT-3000模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SFC-480模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEF-11模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-7440模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-7340模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-7350模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-7330模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-4600模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-4500模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-4400模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-400模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-300模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-E40MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液體微小質(zhì)量流量計(jì)/控制器
STEC SEC-400MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-N100數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器,壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
日本HORIBA流量計(jì)規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大50slm N2 標(biāo)稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大200slm N2 標(biāo)稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質(zhì)量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標(biāo)稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質(zhì)量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標(biāo)稱流量.
日本HORIBA流量計(jì)特征
高精度:設(shè)定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng), 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
高速響應(yīng)
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個(gè)設(shè)定流量點(diǎn)之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時(shí),PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動(dòng)的調(diào)整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動(dòng)優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)。
復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場(chǎng)更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實(shí). 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量,同時(shí)節(jié)省了時(shí)間和成本。
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。可實(shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數(shù)字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。 包括SEC-N177R。質(zhì)量流量計(jì)是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
SEC/N122JM氣體質(zhì)量流量控制器概要
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計(jì),美國BROOKS流量計(jì),美國MKS真空計(jì),德國普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。
Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.
The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.