美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質(zhì)量流量控制器和儀表
挑戰(zhàn)：最大化工具正常運行時間和生產(chǎn)力
質(zhì)量流量控制器的可靠性和多功能性能是許多半導(dǎo)體工藝工具的基礎(chǔ)。流程工具只有在啟動和運行時才能獲得數(shù)百萬美元的投資回報；如果 MFC 偏離關(guān)鍵設(shè)定點，或者新的制造工藝需要多種氣體（和多個 MFC），則轉(zhuǎn)換和/或重新校準或維修的停機時間會增加。
解決方案：支持高級 MultiFlo ®的 GF 系列 MFC
以超高純度準確、可重復(fù)地輸送工藝氣體——這就是 GF 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表所提供的性能。GF 系列已通過七倍于半導(dǎo)體行業(yè)標準的可靠性測試。全金屬流路和耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器確保最高水平的氣體純度和無水分流動。獨特的可編程 MultiFlo® 技術(shù)使一個 MFC 能夠支持數(shù)千種氣體類型和范圍組合。
結(jié)果：提高了工藝靈活性和效率，并結(jié)合了行業(yè)最高水平的工藝氣體純度，有助于最大限度地提高產(chǎn)量和生產(chǎn)力。
美國BROOKS流量計GP系列
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產(chǎn)品 |
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美國BROOKS流量計GP100EtherCAT系列 |
美國BROOKS流量計GP100系列 |
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產(chǎn)品類別 |
質(zhì)量流量控制器 |
質(zhì)量流量控制器 |
質(zhì)量流量控制器 |
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微分器 |
完全壓力不敏感的 P-MFC
在最廣泛的操作條件下提供最精確的工藝氣體輸送
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EtherCAT 通訊
高純度/超高純度
嵌入式診斷
超穩(wěn)定的流量傳感器
改進的閥門關(guān)閉
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高純度/超高純度
標準GF系列
高流量GF系列
超快響應(yīng)時間
壓力瞬態(tài)不敏感
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密封材料 |
金屬 |
金屬 |
金屬 |
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純度水平/表面光潔度 |
3 sccm - 50,000 sccm |
標準 GF 系列：3 sccm - 55 slm
高流量 GF 系列：55 slm - 300 slm
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標準 GF 系列：3 sccm - 55 slpm
高流量 GF 系列：55 slpm - 300 slpm
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準確性 |
零泄漏閥
<± 1% SP (5-100% FS)
<± 0.05% FS (0.5-5% FS)
金屬密封閥
<± 1% SP (5-100% FS)
<± 0.05% FS (2-5% FS)
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標準GF系列：±1% SP > 20-100%；±0.2% 滿量程 2-20%
高流量 GF 系列：±1% SP > 35-100%；±0.35% 滿量程 2-35%
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±1% SP > 35-100%
±0.35% 滿量程 2-35%
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最大壓力 |
150 磅/平方英寸 |
標準 GF 系列：最大 500 psia
高流量 GF 系列：75 psig（控制器），150 psig（米）
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標準 GF 系列：最大 500 psia
高流量 GF 系列：75 psig（控制器），150 psig（米）
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最高溫度 |
60攝氏度_ |
50攝氏度_ |
50攝氏度_ |
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模擬通信 |
0-5 伏直流電 |
- |
0-5 伏直流電 |
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數(shù)字通信 |
DeviceNet™
EtherCAT®
RS-485 L 協(xié)議
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EtherCAT® |
DeviceNet™
RS485 L-協(xié)議
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